羅茨真空機組抽速比的選定是一個復(fù)雜而重要的過程,需要考慮多個因素以確保機組的性能和效率。以下是一些關(guān)鍵步驟和注意事項:
一、理解抽速比的概念
抽速比是指羅茨真空機組與前級泵之間的抽氣速率之比。由于羅茨泵的壓縮比有限,這一比例的選擇對前級泵的容量和機組的整體性能有直接影響。
二、考慮羅茨泵的壓縮比
羅茨泵的壓縮比決定了前級泵的容量需求。一般來說,壓縮比在2~10之間選取較為合適。壓縮比是羅茨泵與前級泵抽速的反比,因此需要根據(jù)具體需求來平衡兩者的抽速。
三、評估預(yù)抽時間要求
真空設(shè)備作為輔助設(shè)備,其預(yù)抽時間是一個重要考量因素。如果正常工作時間遠長于預(yù)抽時間,可以選擇較小的前級泵(壓縮比可大些)。然而,如果真空室較大且要求快速預(yù)抽,則需要使用較大的前級泵。
四、考慮壓力要求
對羅茨真空機組的壓力要求也是選擇前級泵時需要考慮的因素。
1.真空度要求較高(達1×10-3Pa~1×10-2Pa壓力)時,一般選用雙級旋片式油封機械泵或雙級滑閥機械泵作為前級泵。
2.真空度要求在(1×10-2Pa~1×10-1Pa)之間時,可選用單級油封機械泵作為前級泵。
3.真空度要求在133~1333Pa之間時,可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級泵。
五、確定前級泵的抽速
當(dāng)選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空機組的前級泵時,前級泵的抽速一般為羅茨真空機組的1/2~1/4。這一比例不能過大,否則將導(dǎo)致壓縮比過大,造成羅茨真空機組的排氣溫度高而無法正常工作。
六、考慮被抽氣體的性質(zhì)
選用前級泵時,還需要考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì)或可凝性氣體。如果含有腐蝕性氣體,則不能選用油封機械泵。油封機械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體,否則會使密封液很快乳化。抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時,也需要采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機械泵作為前級泵。
七、優(yōu)化機組配置
為了獲得更高的抽氣速率或限度真空度,可以采用多級羅茨真空機組串聯(lián)的方式。此時,羅茨真空機組之間的抽速比一般在2~5之間。
綜上所述,羅茨真空機組抽速比的選定需要綜合考慮羅茨泵的壓縮比、預(yù)抽時間要求、限度壓力要求、被抽氣體性質(zhì)以及機組配置等多個因素。通過合理選擇和配置前級泵和羅茨真空機組,可以確保機組在有效、穩(wěn)定的狀態(tài)下運行。