往復(fù)式真空泵(又稱活塞式真空泵)屬于低真空獲得設(shè)備，用以從內(nèi)部壓力等于或低于一個(gè)大氣壓的容器中抽除氣體，被抽氣體的溫度一般不超過35C。往復(fù)泵的壓力，單級(jí)為4×10～10Pa，雙級(jí)可達(dá)1Pa。它的排氣量較大，抽速范圍15～5500L/S。往復(fù)泵多用于真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空結(jié)晶、真空過濾等方面抽除氣體。 　　

往復(fù)式真空泵對(duì)于抽除腐蝕性或含有顆粒狀灰塵的氣體是不適用的。被抽氣體中如果含有灰塵，在泵的進(jìn)口處須加裝過濾器。

往復(fù)泵有干式和濕式之分。干式泵只能抽氣體，濕式泵可抽氣體和液體的混合物。二者在結(jié)構(gòu)方面沒有什么原則性的不同，只是濕式泵內(nèi)的死空間和配氣機(jī)構(gòu)的尺寸比干式泵大一些，因此濕式泵的壓力要比干式泵的高。往復(fù)泵有臥式和立式兩種型式(國產(chǎn)為W和WLW型)。立式泵從結(jié)構(gòu)和性能上較為先進(jìn)，它是臥式泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。